ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ УСТАНОВКА «УЭН-500»

Вакуумная электронно-лучевая установка «УЭн-500» предназначена для нанесения в вакууме однослойных и многослойных металлических, окисных, карбидных покрытий на различные изделия. Такие покрытия позволяют эксплуатировать изделия при более жестких условиях по сравнению с незащищенными. Установка «УЭн-500» позволяет также получать конденсат материалов, производить переплав заготовки. Установка представляет собой блок вакуумных камер с механизмами, устройствами, обеспечивающими проведение технологического процесса электронно-лучевого напыления на различные изделия. Снизу рабочей камеры пристыкован блок тиглей, в состав которого входят четыре медных водоохлаждаемых тигля и четыре механизма подачи испаряемых слитков.
Загрузка слитков испаряемых материалов производится сверху. Для испарения материалов из тиглей установлены четыре электронно-лучевые пушки с прямонакальным катодом. Для нагрева изделий предусмотрены две аналогичные электронные пушки Две синхронно работающих заслонки установлены для экранирования изделий во время разогрева испаряемых материалов и изделий до установления стабильного технологического процесса.
Для оценки величины покрытия используется образец с системой тензодатчика. Для возможности контроля толщины напыляемого покрытия, уровня жидкой ванны в тиглях, замера температуры изделий с помощью пирометров, над передней крышкой и в самой крышке предусмотрены места под вакуумные вводы, позволяющие направить контролирующий прибор в желаемую точку.

№ 5863518, Размещено 18 октября

2315

Ещё Поднять

Избранное

• Разослать
• Редактировать